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Technologien der Mikrosystemtechnik

Modulbezeichnung: Technologien der Mikrosystemtechnik
Modulbezeichnung (engl.): Microsystems Technologies
Studiengang: Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014
Code: BMT1823
SWS/Lehrform: 3V+1U (4 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte: 4
Studiensemester: 1
Pflichtfach: ja
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:
Klausur
Zuordnung zum Curriculum:
BMT1823 Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014, 1. Semester, Pflichtfach
Arbeitsaufwand:
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
Keine.
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
BMT1923 Neuroprothesen


[letzte Änderung 10.11.2013]
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Wenmin Qu
Dozent:
Prof. Dr. Wenmin Qu


[letzte Änderung 10.11.2013]
Lernziele:
Die Studierenden haben ein grundlegendes Verständnis von häufig verwendeten Technologien in der Mikrosystemtechnik. Sie können die jeweiligen Vor- u. Nachteile benennen und kennen typische Lösungsansätze. Die Herstellung und Funktionsweise typischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik ist ihnen bekannt.

[letzte Änderung 10.11.2013]
Inhalt:
1. Einführung Märkte und Anwendungen der Mikrosystemtechnik
2. Übersicht über Mikrotechnologien
2.1 Lithographie
2.2 Schichttechniken
2.3 Volumen- und Oberflächenmikromechanik
2.4 LIGA-Technik
3. Betrachtung ausgewählter Fertigungsprozesse
3.1 Reinraumtechnik und Verhalten im Reinraum
3.2 Lithografie
3.3 Dünnschichtverfahren
3.4 Dotierverfahren
3.5 Ätztechniken
4. Betrachtung ausgewählter Anwendungsfelder und Produkte:
4.1 Mikrosensorik
4.1.1 Drucksensor
4.1.2 Beschleunigungssensor
4.1.3 Drehratensensor
4.2 Mikroaktorik
4.2.1 Tintenstrahldruckkopf
4.2.2 Spiegelchips für DLP

[letzte Änderung 10.11.2013]
Lehrmethoden/Medien:
Vorlesung als PowerPoint Präsentation mit eingebauten Videosequenzen, insbesondere im Bereich ausgewählter Fertigungsprozesse und Bauelemente.

[letzte Änderung 10.11.2013]
Literatur:
Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Teubner, Stuttgart, 1994, ISBN 3-519-13071-8
Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser, München, 1997, ISBN 3-446-18395-7
Heuberger, A. (Hrsg.): Mikromechanik, Springer, Berlin, 1991, ISBN 3-540-18721-9
Madou, M.: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997, ISBN 0-8493-9451-1
Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen, Vieweg+Teubner

[letzte Änderung 10.11.2013]
[Wed Oct 23 02:30:13 CEST 2019, CKEY=btdmb, BKEY=bmtm2, CID=BMT1823, LANGUAGE=de, DATE=23.10.2019]