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Mikro- und Nanotechnologie

Modulbezeichnung: Mikro- und Nanotechnologie
Studiengang: Mechatronik, Master, ASPO 01.04.2020
Code: MTM.MNA
SWS/Lehrform: 2SU (2 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte: 3
Studiensemester: laut Wahlpflichtliste
Pflichtfach: nein
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:
Mündliche Prüfung
Zuordnung zum Curriculum:
MTM.MNA Mechatronik, Master, ASPO 01.04.2020, Wahlpflichtfach, technisch
MST.MNA Mechatronik/Sensortechnik, Master, ASPO 01.04.2016, Wahlpflichtfach, technisch
MST.MNA Mechatronik/Sensortechnik, Master, ASPO 01.10.2011, Wahlpflichtfach, technisch
Arbeitsaufwand:
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 30 Veranstaltungsstunden (= 22.5 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 3 Creditpoints 90 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 67.5 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
Keine.
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes
Dozent: Prof. Dr. Günter Schultes

[letzte Änderung 30.01.2019]
Lernziele:
Die Studierenden erhalten einen Einblick in die Mikro- und Nanotechnologien. Dazu werden Sensoren, die mit solchen Technologien gefertigt werden vorgestellt und besprochen. Die Wirkungsweise der Sensoren wird erarbeitet und Aufgaben zur Lernkonrolle werden gestellt. Dabei wird an bereits vermittelte Kenntnisse aus dem Bereich der technischen Mechanik und der Elektronik angeknüpft.
Die Studierenden werden somit in die Lager versetzt solche Produkte einzusetzen und deren Wirkungsweise zu verstehen. Ein Besuch bei einer einschlägigen Herstellerfirma rundet die Lehrveranstaltung ab.

[letzte Änderung 01.05.2014]
Inhalt:
1.        Einleitung und ein erstes Anwendungsbeispiel
        - Warum ist „Mikro“ anders ?
 
2.         Mikromechanische Drucksensoren aus Silizium
        - Funktionsprinzip und Ausführungen
         
3.         Komplexe Mikrosysteme: Beschleunigungs- und Drehratensensoren
        - Physikalische Funktionsprinzipien und Ausführungen
        - Messtechnik
         
4.         Notwendige Technologien zur Herstellung von Mikrostrukturen
        - Silizium-Wafer, Thermische Oxidation
        - Schichttechnologien, PVD und CVD
        - Strukturierungsverfahren und Ätzprozesse
        - Vakuumtechnik
 
5.        Nanotechnologie am Beispiel         
        - Nanoskalige Metall-Matrixschichten (granulare Metalle) in der Sensorik, Beispiele aus der eigenen Forschung
        - Laserfeinstbearbeitung mit Ultrakurzzeitlasern


[letzte Änderung 01.05.2014]
Lehrmethoden/Medien:
Seminaristischer Stil.
Vortrag mit teilweisem Tafelanschrieb.
Präsentationen.  
Übungsaufgaben zur Lernkontrolle.

[letzte Änderung 01.05.2014]
Literatur:
-        F. Völklein, T. Zetterer; Praxiswissen Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag
-        T.M. Adams, R.A. Layton, Introductory MEMS, Springer Verlag
-        Bosch, Sensoren im Kraftfahrzeug, Springer Verlag
-        M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag
-        U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag
-        U. Hilleringmann, Silizium Halbleitertechnologie, Teubner Verlag
-        U. Mescheder, Mikrosytemtechnik, Teubner Verlag
-        M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press


[letzte Änderung 01.05.2014]
[Thu Jun  4 05:02:06 CEST 2020, CKEY=ymun, BKEY=mechm, CID=MTM.MNA, LANGUAGE=de, DATE=04.06.2020]