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Praxis der Mikrotechnologien

Modulbezeichnung: Praxis der Mikrotechnologien
Studiengang: Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2011
Code: MST.PMT
SWS/Lehrform: 2V+2PA (4 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte: 5
Studiensemester: laut Wahlpflichtliste
Pflichtfach: nein
Arbeitssprache:
Deutsch
Prόfungsart:
Klausur
Zuordnung zum Curriculum:
MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2012, Wahlpflichtfach, technisch, Modul inaktiv seit 20.03.2014
MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2019, Wahlpflichtfach, technisch, Modul inaktiv seit 20.03.2014
MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik, Bachelor, ASPO 01.10.2011, Wahlpflichtfach, technisch, Modul inaktiv seit 20.03.2014
Arbeitsaufwand:
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 5 Creditpoints 150 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 105 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
MST.MEO Physik I (Mechanik, Elektrizität, Optik)
MST.WEW Werkstoffwissenschaften


[letzte Änderung 25.04.2014]
Als Vorkenntnis empfohlen fόr Module:
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes
Dozent:
N.N.


[letzte Änderung 25.04.2014]
Lernziele:
Die Vorlesung soll Antworten auf folgende Fragen geben:
Welche Technologien und Materialien werden in der MST eingesetzt?
Wie werden diese Technologien zur Erzeugung von miniaturisierten Bauelementen verwendet?
Wo sind die technologischen Grenzen und Problemen der einzelnen Techniken?

[letzte Änderung 05.03.2013]
Inhalt:
Materialien in der Mikrosystemtechnik                                
Schichtaufbau / Schichtabscheidung / Schichtmodifikation        
–        Oxidation / CVD / PVD / Dotieren
–        Galvanik / Spin Coating
–        Metallisierungssysteme
Strukturieren dünner Schichten                                
–        Lithografie
–        Ätzen (nasschemisch, trocken)
Spezielle Verfahren der Mikrosystemtechnik                        
–        Tiefenätztechnik (nasschemisch, trocken)
–        Poröses Silizium
–        Fullwafer-Bonden (Anodisch, Silicon Direct Bonding, etc.)
Gesamtprozesse                
–        Bulk Mikromechanik
–        Oberflächen Mikromechanik
–        LIGA
–        Polymere
–        Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT)

[letzte Änderung 05.03.2013]
Literatur:
M. Madou:
        Fundamentals of Microfabrication
        CRC Press, Boca Raton (1997)
        ISBN: 0-8493-9451-1
        Preis: ca. € 99,70
 
W. Menz, J. Mohr:
        Mikrosystemtechnik für Ingenieure
        VCH, Weinheim (1997)
        ISBN: 3-527-294055-8
        Preis: € 75,--
 
S. Büttgenbach:
        Mikromechanik
        Teubner  Verlag, Stuttgart (1994)
        ISBN: 3-519-13071-8
        Preis: € 17,--

[letzte Änderung 05.03.2013]
[Sat Jul 11 13:01:54 CEST 2020, CKEY=ypdm, BKEY=yst, CID=MST.PMT, LANGUAGE=de, DATE=11.07.2020]